Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие: для высших учебных заведений по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Галперин, В. А. (род. 1954) |
| Опубликовано: | Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2010 |
| Физические характеристики: |
283 с. : ил., табл., схемы ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Нанотехнологии
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||