|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-RLST-kn-194860 |
| 005 |
20170926204957.1 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-5-94836-222-9
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20100417d2010 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ca
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
$f Е. Берлин, Л. Сейдман
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Техносфера
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 527 с., [8] л. цв. ил.
$c ил., табл.
$d 25 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Мир материалов и технологий
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 1500 экз.
|
| 601 |
0 |
0 |
$3 BY-NLB-ar1793143
$a "ЭСТО-Вакуум"
$g общество с ограниченной ответственностью
$c Зеленоград
$2 BY-auth
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2451365
$a ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23653
$a ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643528
$a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4867
$a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82800
$a ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3356319
$a ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Caroline D12, вакуумные напылительные установки
|
| 610 |
0 |
# |
$a Caroline D12, вакуумныя напыляльныя ўстаноўкі
|
| 610 |
0 |
# |
$a Caroline PE, вакуумные напылительные установки
|
| 610 |
0 |
# |
$a Caroline PE, вакуумныя напыляльныя ўстаноўкі
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.793.1
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.793.74
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar429690
$a Берлин
$b Е. В.
$g Евгений Владимирович
$c вакуумная техника и технология
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar429691
$a Сейдман
$b Л. А.
$g Лев Александрович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0001
$c 20100417
$g psbo
|
| 801 |
# |
2 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170926
$g psbo
|
