Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Е. Берлин, Л. Сейдман
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Берлин, Е. В. |
| Опубликовано: | Москва : Техносфера , 2010 |
| Физические характеристики: |
527 с., [8] л. цв. ил. : ил., табл. ; 25 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Мир материалов и технологий
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||