Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления наружного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.01)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Шурдук, Б. К. |
| Publié: | Киев , 1989 |
| Description matérielle: |
212 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||