Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления наружного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.01)
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Шурдук, Б. К. |
| Veröffentlicht: | Киев , 1989 |
| Beschreibung: |
212 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||