Разработка технологии получения пленочных субмикронных диэлектриков на основе многокомпонентных стекол методом ВЧ магнетронного распыления [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.08)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Шепченков, А. А. |
Опубликовано: | М. , 1990 |
Физические характеристики: |
234 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|