Исследование свойств и характеристик структур полупроводник - диэлектрик - полупроводник и разработка конструктив но-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шелепин, Н. А. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
159 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||