Дефектообразование и проникновение примеси при низкоэнергетичном ионном легировании кремния [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 18.04.90: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Степина, Н. П. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1989 |
| Физические характеристики: |
145 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||