Быстрый термический отжиг монокристаллов кремния, легированных ионами III-V групп (As⁺, In⁺ и As⁺/In⁺, P⁺/In⁺) [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сафронов, Н. В. |
| Опубликовано: | Минск , 1990 |
| Физические характеристики: |
131 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||