Закономерности формирования электрофизических свойств толстых пленок на основе тугоплавких боридов и оксидов и разработка с их использованием новых материалов для микроэлектроники [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (01.04.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рудь, Б. М. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
249 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41715070000 | ||
| 005 | 20080219123839.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Закономерности формирования электрофизических свойств толстых пленок на основе тугоплавких боридов и оксидов и разработка с их использованием новых материалов для микроэлектроники $b [Микроформа] $e Дис. ... д-ра техн. наук $e (01.04.07) |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 249 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 227-249. - Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Рудь $b Б. М. $g Борис Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |