Закономерности формирования электрофизических свойств толстых пленок на основе тугоплавких боридов и оксидов и разработка с их использованием новых материалов для микроэлектроники [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (01.04.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рудь, Б. М. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
249 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||