Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (02.00.01)
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Попов, В. П. |
| Veröffentlicht: | Новосибирск , 1990 |
| Beschreibung: |
190 с. : ил.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||