Химическая и фотоэлектрическая обработка полупроводниковых соединений для технологии электронных приборов и интегральных микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Назаров, Н. Г. |
Опубликовано: | М. , 1990 |
Физические характеристики: |
259 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|