Газохроматографический контроль арсина и фосфина для эпитаксиальных процессов [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (02.00.02)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Майоров, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
180 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||