Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Леонов, Ю. С. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
215 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||