Автоматизированные процессы и оборудование для удаления привносимой дефектности с поверхности полупроводниковых пластин в стадии поставки [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кушхов, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
182 с. : прил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||