Макрокинетика химического осаждения карбида кремния из газовой фазы [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 18.04.90: (01.04.17)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кудряшов, В. А. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1989 |
| Физические характеристики: |
172 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||