Исследование физико-химических механизмов формирования изображения прямым фототравлением вакуумным ультрафиолетовым излучением в субмикронной литографии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 01.07.87: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крамаренко, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
157 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41398710000 | ||
| 005 | 20080219120420.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование физико-химических механизмов формирования изображения прямым фототравлением вакуумным ультрафиолетовым излучением в субмикронной литографии $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. физ.-мат. наук $e Утв. 01.07.87 $e (05.27.01) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 157 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 144-157 |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Крамаренко $b А. С. $g Алексей Сергеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |