Исследование физико-химических механизмов формирования изображения прямым фототравлением вакуумным ультрафиолетовым излучением в субмикронной литографии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 01.07.87: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крамаренко, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
157 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||