Электронные процессы и их влияние на формирование и свойства слоев SiO₂ на кремнии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 22.11.89: (01.04.10)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Климов, И. В. |
| Published: | Л. , 1989 |
| Physical Description: |
187 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||