Исследование микроволнового разряда в магнитном поле как источника низкотемпературной плазмы для полупроводниковой технологии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 03.08.88: (01.04.03)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кампс Карвахаль, Э. Э. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
129 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41315340000 | ||
| 005 | 20080219132815.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование микроволнового разряда в магнитном поле как источника низкотемпературной плазмы для полупроводниковой технологии $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. физ.-мат. наук $e Утв. 03.08.88 $e (01.04.03) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 129 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 123-129 |
| 686 | # | # | $a 01.04.03 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кампс Карвахаль $b Э. Э. $g Эдгар Энрике |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |