Исследование микроволнового разряда в магнитном поле как источника низкотемпературной плазмы для полупроводниковой технологии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 03.08.88: (01.04.03)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кампс Карвахаль, Э. Э. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
129 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||