Моделирование и оптимизация процессов экспонирования и проявления фоторезистов [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 21.11.90: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Илькаев, Д. Р. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
176 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||