Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ерохин, Ю. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
131 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||