Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн наук: (01.0407 ; 05.16.06)
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Дворина, Л. А. |
| 出版: | Киев , 1990 |
| 實物描述: |
327 с. : прил.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||