Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн наук: (01.0407 ; 05.16.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дворина, Л. А. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
327 с. : прил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||