Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн наук: (01.0407 ; 05.16.06)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Дворина, Л. А. |
| Published: | Киев , 1990 |
| Physical Description: |
327 с. : прил.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||