Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн наук: (01.0407 ; 05.16.06)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Дворина, Л. А. |
| Апублікавана: | Киев , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
327 с. : прил.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||