Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн наук: (01.0407 ; 05.16.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дворина, Л. А. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
327 с. : прил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41188510000 | ||
| 005 | 20080219135215.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем $b [Микроформа] $e Дис. ... д-ра техн наук $e (01.0407 ; 05.16.06) |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 327 с. $c прил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 253-276 |
| 686 | # | # | $a 01.0407 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.16.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Дворина $b Л. А. $g Людмила Андреевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |