Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 29.06.88: (05.27.03)

Сохранено в:
Шифр документа: 0488006011,
Вид документа: Диссертации
Автор: Герасимов, Р. Б.
Опубликовано: Л. : София , 1988
Физические характеристики: 117 с. : ил.
Язык: Русский
00000nbm0a22000001id4500
001 BY-NLB-rr41133610000
005 20080219140144.0
100 # # $a 20080219d1988 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке  $b [Микроформа]  $e Дис. ... канд. физ.-мат. наук  $e Утв. 29.06.88  $e (05.27.03) 
210 # # $a Л.  $c София  $d 1988 
215 # # $a 117 с.  $c ил. 
300 # # $a Библиогр.: с. 109-117 
686 # # $a 05.27.03  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Герасимов  $b Р. Б.  $g Румен Боянов 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080219  $g psbo