Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 29.06.88: (05.27.03)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Герасимов, Р. Б. |
Опубликовано: | Л. : София , 1988 |
Физические характеристики: |
117 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
00000nbm0a22000001id4500 | |||
001 | BY-NLB-rr41133610000 | ||
005 | 20080219140144.0 | ||
100 | # | # | $a 20080219d1988 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. физ.-мат. наук $e Утв. 29.06.88 $e (05.27.03) |
210 | # | # | $a Л. $c София $d 1988 |
215 | # | # | $a 117 с. $c ил. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 109-117 |
686 | # | # | $a 05.27.03 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Герасимов $b Р. Б. $g Румен Боянов |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |