Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 29.06.88: (05.27.03)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Герасимов, Р. Б. |
| Опубликовано: | Л. : София , 1988 |
| Физические характеристики: |
117 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||