Процессы на поверхности кремния при росте пленок силицидов CrSi₂, VSi₂ и TiSi₂ [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 07.09.88: (01.04.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Воронов, А. В. |
| Опубликовано: | Владивосток , 1987 |
| Физические характеристики: |
120 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||