Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащих пленок с использованием электронного воздействия [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Борисенко, В. Е. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
224 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41053390000 | ||
| 005 | 20080219124024.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащих пленок с использованием электронного воздействия $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.27.06) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 224 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 198-219. - Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Борисенко $b В. Е. $g Владимир Егорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |