Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащих пленок с использованием электронного воздействия [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Борисенко, В. Е. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
224 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||