Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащих пленок с использованием электронного воздействия [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Борисенко, В. Е. |
| Апублікавана: | М. , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
224 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||