Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидсодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранов, В. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1990 |
| Физические характеристики: |
395 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||