Исследование физических механизмов электронно-лучевой литографии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 05.10.88: (01.04.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бабин, С. В. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1987 |
| Физические характеристики: |
140 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||