Исследование геттерных процессов, стимулированных ионно-имплантационными и термическими воздействиями в кремниевых МДП-структурах [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Андриевский, В. В. |
| Опубликовано: | Ужгород , 1991 |
| Физические характеристики: |
217 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr40971740000 | ||
| 005 | 20080219115122.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1991 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование геттерных процессов, стимулированных ионно-имплантационными и термическими воздействиями в кремниевых МДП-структурах $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a Ужгород $d 1991 |
| 215 | # | # | $a 217 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 187-198 |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Андриевский $b В. В. $g Владимир Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |