Исследование геттерных процессов, стимулированных ионно-имплантационными и термическими воздействиями в кремниевых МДП-структурах [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Андриевский, В. В. |
| Опубликовано: | Ужгород , 1991 |
| Физические характеристики: |
217 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||