Исследование и разработка процесса формирования эпитаксильных структур "кремний на диелектрике" для совершенствования технологии СБИС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Акулёнок, М. В. |
| Wydane: | М. , 1990 |
| Opis fizyczny: |
125 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||