Исследование и разработка процесса формирования эпитаксильных структур "кремний на диелектрике" для совершенствования технологии СБИС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Акулёнок, М. В. |
| Published: | М. , 1990 |
| Physical Description: |
125 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||