|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40504600000 |
| 005 |
20080116170538.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 35 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-33999]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080116d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Химические процессы в микроэлектронике
$e (Учеб. пособие)
$f [В. З. Петрова, И. Н. Сорокин, Н. Г. Никитина и др.]
$g Под ред. В. З. Петровой
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 127 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. л. В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 126
|
| 345 |
# |
# |
$9 600 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы Производство - Физико-химические основы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:54(075.8)
|
| 701 |
# |
1 |
$a Петрова
$b В. З.
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Московский ин-т электронной техники
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080116
$g psbo
|
