Химические процессы в микроэлектронике: (Учеб. пособие) / [В. З. Петрова, И. Н. Сорокин, Н. Г. Никитина и др.]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1981 |
Физические характеристики: |
127 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|