|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40473580000 |
| 005 |
20231208120421.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 1 р. 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-14209]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080116d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
$f [Е. Г. Гук, В. Б. Шуман, А. В. Ельцов, Т. А. Юрре]
$g Отв. ред. А. В. Ельцов
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c Наука. Ленингр. отд-ние
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 117 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на 4-й с. В надзаг.: АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе. Библиогр. в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 1650 экз.
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002.3
|
| 701 |
# |
1 |
$a Гук
$b Е. Г.
$g Елена Григорьевна
|
| 702 |
# |
1 |
$a Ельцов
$b А. В.
$g Андрей Васильевич
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Физико-технический ин-т им. А. Ф. Иоффе. Ленинград
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080116
$g psbo
|
