Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии / [Е. Г. Гук, В. Б. Шуман, А. В. Ельцов, Т. А. Юрре]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. : Наука. Ленингр. отд-ние , 1984 |
| Физические характеристики: |
117 с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||