|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40466510000 |
| 005 |
20180514103824.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-82605]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080116d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формулировка и решение полной задачи оптимизации электронно-литографического процесса
$f К. А. Валиев, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 63 с.
$c ил.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препр. Физика твердого тела
$f Отд. микроэлектроники
$f АН СССР, Ин-т общ. физики
$v № 194
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 42-43 (20 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронные пучки
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектроника
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.75:776
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080116
$g psbo
|
