Формулировка и решение полной задачи оптимизации электронно-литографического процесса / К. А. Валиев, Б. Н. Ковтун, Т. М. Махвиладзе
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
63 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр. Физика твердого тела
№ 194 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||