Исследование структуры тонких пленок окиси алюминия, тантала и системы тантал - окись алюминия, полученных методами вакуумного осаждения: (05.16.01): Автореф. дис. на соиск. учен степени канд. техн. наук / АН СССР. Ин-т металлургии им. А. А. Байкова

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ262324,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Галкин, Б. Д.
Опубликовано: М. , 1975
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr39280230000
005 20071023160720.0
021 # # $a RU  $b [75-6616а] 
100 # # $a 20071023d1975 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование структуры тонких пленок окиси алюминия, тантала и системы тантал - окись алюминия, полученных методами вакуумного осаждения  $e (05.16.01)  $e Автореф. дис. на соиск. учен степени канд. техн. наук  $f АН СССР. Ин-т металлургии им. А. А. Байкова 
210 # # $a М.  $d 1975 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Список работ авт.: с. 20 (7 назв.) 
686 # # $a 05.16.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Галкин  $b Б. Д.  $g Борис Дмитриевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071023  $g psbo