Исследование структуры тонких пленок окиси алюминия, тантала и системы тантал - окись алюминия, полученных методами вакуумного осаждения: (05.16.01): Автореф. дис. на соиск. учен степени канд. техн. наук / АН СССР. Ин-т металлургии им. А. А. Байкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Галкин, Б. Д. |
| Опубликовано: | М. , 1975 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||