Синтез металлических и сверхтонких окисных пленок на поверхности полупроводников методами химического осаждения из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Галеева, Л. Х. |
| Опубликовано: | Л. , 1982 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||