Кинетика роста и некоторые свойства легированных оксидных пленок на кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гадебская, Т. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1982 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||